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在线聊天摘要:大多数半导体器件是建立在硅晶圆上的,高质量硅晶圆的制造涉及到几个加工过程,包括研磨这篇综述论文
在线聊天Oct 22 2019 · Here’s a summary of the backgrinding process to achieve thin silicon wafers Backside Thinning or Back Grinding Wafer grinding or backgrounding is the most popular method for thinning wafers The dimension to which a wafer can be thinned depends heavily on the machine used but most thin silicon wafers have around 50 micrometers thickness
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